Gần đây, Phó đồng giám đốc điều hành TSMC Zhang Xiaoqiang đã tuyên bố rõ ràng tại một diễn đàn công khai rằng công ty sẽ không mua máy in thạch bản High-NA EUV mới nhất của ASML trong giai đoạn này. Nguyên nhân cốt lõi là giá thiết bị quá cao. Giá một chiếc của mẫu xe này vượt quá 350 triệu euro, tương đương gần 2,8 tỷ nhân dân tệ, vượt xa mức trang bị hiện tại trong ngành.

Zhang Xiaoqiang thẳng thắn tuyên bố rằng thế hệ thiết bị mới là “rất, rất đắt tiền” và cho biết rằng thiết bị EUV hiện tại vẫn có thể phát huy hết giá trị của nó và đáp ứng nhu cầu sản xuất cũng như nghiên cứu và phát triển hiện tại.

Máy in thạch bản này là thiết bị cốt lõi hỗ trợ các quy trình tiên tiến từ 1,4nm trở xuống. Độ phân giải và khả năng xử lý tốt hơn đáng kể so với thế hệ trước, nhưng giá thành cũng tăng lên đáng kể.

Giá của nó gần gấp 1,8 lần so với thiết bị EUV thông thường. Mức giá cực cao là do các thành phần quang học độc quyền, hệ thống nguồn sáng phức tạp và chu kỳ gỡ lỗi dài. Ngoài ra, chỉ ASML mới có thể cung cấp nó trên thế giới, càng đẩy giá bán thiết bị đầu cuối lên cao.

TSMC vẫn chưa hoàn toàn từ bỏ công nghệ này. Trước đây họ đã mua một lượng nhỏ thiết bị để nghiên cứu và phát triển chứ không phải để sản xuất hàng loạt.

Công ty đang giảm sự phụ thuộc vào thiết bị mới thông qua tối ưu hóa quy trình. Gần đây, họ đã công bố hai quy trình mới là A13 và N2U, dự kiến ​​sẽ được đưa vào sản xuất lần lượt vào năm 2029 và 2028. Họ có thể cải thiện hiệu quả sử dụng năng lượng của chip và giảm diện tích mà không cần dựa vào thế hệ máy in thạch bản mới, có tính đến cả chi phí và hiệu suất.

Là khách hàng lớn nhất của ASML, việc TSMC tạm dừng mua hàng sẽ ảnh hưởng đến tốc độ sản xuất hàng loạt thiết bị mới sau này.

ASML ban đầu dự định sản xuất hàng loạt EUV High-NA vào năm 2027-2028 và đặt mục tiêu doanh thu vào năm 2030. Hiện tại, nó phải đối mặt với thách thức là khách hàng phải chờ đợi và theo dõi.

Hiện tại, TSMC đang chịu áp lực lớn về chi tiêu vốn và nguồn vốn được ưu tiên để mở rộng sản xuất 3nm, R&D 2nm và bố trí năng lực sản xuất.