Gần đây, trên Internet rộ lên thông tin rằng Đại học Thanh Hoa đã vượt qua một góc và đột phá dự án máy in thạch bản EUV, đạt được những chiếc máy in thạch bản khổng lồ. Nhà máy cũng đã được thành lập tại Khu vực mới Xiongan, như trong hình dưới đây: Đây có thực sự là một nhà máy sản xuất máy in thạch bản trong nước không? Không, Viện Điện tử Trung Quốc đã đưa ra lời giải thích chi tiết: Đây là Dự án Nguồn bức xạ Synchrotron năng lượng cao Bắc Kinh (HEPS)!

HEPS nằm bên bờ hồ Yanqi ở Huairou, Bắc Kinh. Đây là cơ sở hạ tầng khoa học và công nghệ quan trọng trong “Kế hoạch 5 năm lần thứ 13” của đất nước.

Đây là nguồn sáng bức xạ synchrotron năng lượng cao đầu tiên của đất nước tôi và là một trong những nguồn sáng bức xạ synchrotron thế hệ thứ tư sáng nhất trên thế giới. Việc xây dựng bắt đầu vào đầu năm 2019 và sẽ được đưa vào sử dụng vào cuối năm 2025.

△Ảnh thực tế về Dự án Nguồn sáng bức xạ Synchrotron năng lượng cao Bắc Kinh

Chức năng của

HEPS là tăng tốc chùm electron lên 6GeV thông qua máy gia tốc, sau đó bơm nó vào vòng lưu trữ có chu vi 1.360 mét và giữ cho nó chạy ở tốc độ gần bằng tốc độ ánh sáng.

Khi chùm tia điện tử đi qua nam châm uốn cong hoặc các vật chèn khác nhau ở các vị trí khác nhau của vòng lưu trữ, nó sẽ giải phóng ánh sáng ổn định, năng lượng cao, độ sáng cao dọc theo hướng tiếp tuyến của rãnh lệch, đó là bức xạ synchrotron.

Nói một cách đơn giản, HEPS có thể được coi là một cỗ máy X-quang khổng lồ cực kỳ chính xác, tốc độ cực cao và khả năng xuyên thấu mạnh mẽ.

Chùm tia nhỏ mà nó tạo ra có thể xuyên qua vật liệu, xuyên sâu vào bên trong để quét ba chiều và quan sát thế giới vi mô ở nhiều chiều từ quy mô phân tử và nguyên tử.

HEPS là một thiết bị khoa học lớn dành cho các thí nghiệm khoa học, không phải là nhà máy sản xuất máy quang khắc trực tuyến.

Dự án được dẫn dắt bởi Lou Yu, bậc thầy thiết kế và khảo sát quốc gia kiêm nhà khoa học trưởng của SDIC, đồng thời cộng tác với nhiều nhóm nghiên cứu và thiết kế kỹ thuật của Viện Điện tử Trung Quốc.

Từ khi thiết lập nghiên cứu khả thi của dự án đến khi triển khai dự án, Viện Điện tử Trung Quốc đã vượt qua một số khó khăn về kỹ thuật và quy trình, đồng thời giải quyết được độ lún không đồng đều, kiểm soát rung động vi mô và áp suất cực cao của dự án . Bảy vấn đề kỹ thuật chính , bao gồm thiết kế cấu trúc dài, thiết kế bảng quang điện, kiểm soát nhiệt độ chính xác, hệ thống nước làm mát tuần hoàn quy trình và hệ thống xử lý cực kỳ phức tạp, đã đạt được những bước đột phá lớn về công nghệ và khả năng kiểm soát chỉ báo đã đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.

Hiện tại, dự án hỗ trợ nguồn sáng bức xạ synchrotron năng lượng cao đã hoàn thành toàn bộ, tiến một bước gần hơn đến việc tạo ra ánh sáng "sáng nhất" trên thế giới.

Mặc dù HEPS không phải là nhà máy quang khắc nhưng lý do khiến thông tin về nhà máy quang khắc có thể nhanh chóng xuất hiện trên màn ảnh trên các nền tảng tự truyền thông cuối cùng là do công chúng kỳ vọng sẽ giải quyết được vấn đề "nghẹt cổ".

Viện Điện tử Trung Quốc cũng đang tiếp tục nỗ lực trên con đường hỗ trợ "Lõi Trung Quốc". Ngay từ khi thành lập Viện đã bắt đầu sự khởi đầu của "chip" của Trung Quốc.

Trong những năm gần đây, Viện Điện tử Trung Quốc đã tham gia sâu vào ngành công nghiệp bán dẫn và đã thực hiện hơn 50% dự án chip nhớ trong nước, đóng góp quan trọng vào sự tự chủ về công nghệ của đất nước trong lĩnh vực thông tin điện tử.

Viện Điện tử Trung Quốc đã phát triển độc lập các thuật toán cốt lõi và công nghệ kỹ thuật số, đồng thời đã đưa ra "Giải pháp nhà máy song sinh kỹ thuật số sản xuất điện tử tiên tiến phiên bản 1.0" , cam kết đạt được mục tiêu sản xuất "xanh, ít carbon, tinh gọn và hiệu quả".

Cơ sở bộ nhớ quốc gia: dự án dây chuyền sản xuất bộ nhớ flash 3D 12 inch duy nhất do các doanh nghiệp trong nước chủ trì

SMIC Vốn: Dự án dây chuyền sản xuất quy trình tiên tiến mạch tích hợp 12 inch lớn nhất Trung Quốc

Quảng Châu Yuexin: Quảng Châu Nhà máy sản xuất chip mạch tích hợp 12 inch đầu tiên ở tỉnh miền Đông sản xuất hàng loạt thành công

Jinhua, Phúc Kiến: dây chuyền sản xuất chip DRAM 12 inch đầu tiên do một doanh nghiệp địa phương xây dựng và vận hành

Hefei Jinghe: nhà máy 12 inch mới xây dựng đầu tiên theo mô hình EPC tại Trung Quốc


Innosec: dây chuyền sản xuất chip silicon 8 inch gallium nitride hàng đầu thế giới

Xiamen Silan Micro: sản xuất chip IDM quy trình đặc biệt 12 inch đầu tiên ở Trung Quốc

Xi'an Yisiwei: dây chuyền sản xuất tấm wafer silicon 12 inch lớn nhất tại Trung Quốc

Xiamen Tongfu Microelectronics: tiêu chuẩn thử nghiệm và đóng gói mạch tích hợp xanh đẳng cấp thế giới baseTAG PH12

Texas Instruments (Thành Đô): Dự án đóng gói tiên tiến của công ty chip analog hàng đầu thế giới